Trong thời gian này, nhờ sự mời gọi nhiều lần của Châu Vạn Đà, Giáo sư Vương Thành Nghiệp đã giao công việc đang làm cho sinh viên và cũng đến hiện trường thi công.

“Tôi nói này, Tiểu Châu, cậu vội vàng gọi tôi đến đây chẳng lẽ chỉ để cho tôi xem hai chiếc xe kéo này sao? Cảnh tượng này tôi đã thấy hàng ngày rồi, không còn mới mẻ gì nữa đâu.”

“Hehe, thầy ơi, điều tôi muốn cho thầy xem không phải là những thiết bị bình thường này đâu. Bất ngờ thực sự nằm bên trong xưởng đấy. Nào, chúng ta thay đồ bảo vệ sạch sẽ rồi vào xưởng để khám phá điều bí mật kia. Chắc chắn thầy sẽ rất ngạc nhiên đấy.” Châu Vạn Đà không tiết lộ câu trả lời cuối cùng; dù sao thì nếu nói ra, thì nó cũng không còn gọi là “bất ngờ” nữa mà.

Sau khi đợi đoàn xe và các xe kéo rời đi, Kiều Ruỳ Đà và Lâm Mạnh Tùng cũng thay đồ bảo vệ sạch sẽ rồi bước vào xưởng.

Giáo sư Vương Thành Nghiệp quanh quẩn bên cái container màu trắng hồng một hồi lâu trước khi dừng lại và hỏi với vẻ tò mò: “Nhìn kích thước và các thiết bị bên ngoài của cái container này, chắc hẳn bên trong chứa máy khắc quang rồi phải không? Nhưng kích thước của nó có hơi lớn quá không nhỉ? Lớn hơn cả chiếc máy khắc quang DUV hiện đại nhất ở nhà máy bên cạnh nữa đấy.”

“Hehe, thầy thật là tinh ý. Đúng vậy, bên trong container này chứa đúng là máy khắc quang, nhưng mẫu mã cụ thể thì tôi sẽ không tiết lộ trước đâu. Sau khi môi trường được điều chỉnh ổn định, chúng ta sẽ tự mình mở nó ra.” Châu Vạn Đà vuốt ve cái container trước mặt mình, ánh mắt đầy háo hức. Mặc dù đã biết từ Kiều Ruỳ Đà rằng bên trong container này chứa máy khắc quang EUV, nhưng anh vẫn rất tò mò muốn biết chiếc máy khắc quang EUV hoàn chỉnh trông như thế nào, và liệu nó có giống hệt với những gì công ty ASML đã trình diễn hay không.

Kiều Ruỳ Đà và Lâm Mạnh Tùng là hai người cuối cùng bước vào xưởng. Lúc này, các thiết bị lọc bụi và điều hòa không khí lớn được lắp đặt ở tầng cao nhất của xưởng đã hoạt động được một thời gian dài, và môi trường bên trong xưởng đã gần như đạt được yêu cầu về sự sạch sẽ và độ ổn định về nhiệt độ, độ ẩm. Viện sĩ Vương và Châu Vạn Đà đã chỉ đạo một nhóm kỹ sư bắt đầu tháo rời container.

Có câu nói: “Nhiều người thì sức mạnh càng lớn.” Hơn một trăm kỹ sư, cùng sử dụng đủ loại công cụ, đã cùng nhau thao tác, và những chiếc container được kéo vào từ trước đó đều được mở ra. Các thiết bị bên trong chúng đã lộ diện trước

Khi nhìn thấy chiếc thiết bị đầu tiên, mọi người đều không khỏi thốt lên ngạc nhiên, vì nó đã góp phần quan trọng vào cuộc đấu tranh chống biến đổi khí hậu toàn cầu.

“Extreme Ultra-violet… Máy khắc quang UV cực tím ư? Trời ơi, các bạn chắc chắn rằng cái tên này không sai chứ? Thật sự là có thể mua được máy khắc quang UV cực tím ở trong nước sao?”

“Chắc chắn là máy khắc quang EUV rồi. Nhìn kích thước và dung tích của nó đi, to hơn máy khắc quang DUV rất nhiều. Còn những tấm gương phản xạ và hệ thống quang học phức tạp này nữa… Chắc chắn là máy khắc quang EUV không thể nào sai được.”

“Phải nói là Giáo tổng của chúng ta thật sự quá giỏi; ngay cả những thiết bị mà ASML vẫn chưa bắt đầu sản xuất hàng loạt, chúng ta cũng có thể mua được. Thật là tuyệt vời!”

“Bàn làm việc của chiếc máy khắc quang này to quá… Chắc hẳn là được thiết kế để gia công các wafer có kích thước 12 inch phải không?”

“Rất có thể đấy. Không chỉ bàn làm việc của máy khắc quang mà cả những thiết bị khác – những bàn đặt wafer – cũng đều rất lớn. Tôi đoán rằng toàn bộ dây chuyền sản xuất chip này có lẽ được thiết kế riêng cho việc gia công wafer 12 inch.”

“Có vẻ như trong tương lai, việc sử dụng wafer 12 inch sẽ trở thành xu hướng chủ đạo trong ngành sản xuất chip. Dù sao thì chi phí sản xuất mỗi con chip từ wafer 12 inch cũng thấp hơn, tốc độ gia công nhanh hơn và hiệu suất cao hơn nhiều.”

“Ở trong nước chúng ta vẫn chưa có nhà máy nào có thể sản xuất wafer silicon kích thước 12 inch phải không? Nếu dây chuyền sản xuất này bắt đầu hoạt động, liệu tất cả các wafer đều phải nhập khẩu từ nước ngoài sao? Điều đó sẽ khiến chi phí sản xuất tăng vọt lên.”

“Dù chi phí cao thì cũng không sao cả. Độ chính xác trong gia công của máy khắc quang EUV cao hơn nhiều so với máy khắc quang DUV, vì vậy chi phí sản xuất cũng sẽ tương ứng tăng theo. Chỉ cần dây chuyền sản xuất này bắt đầu hoạt động hàng loạt, thì chúng ta sẽ trở thành những người duy nhất trên thế giới sở hữu nó… Sợ gì không kiếm được lợi nhuận chứ?”

“Tôi nghe nói rằng độ chính xác trong gia công của máy khắc quang EUV đã đạt mức 7NM rồi. Bây giờ chúng ta đã có máy khắc quang EUV này, vậy thì chúng ta hoàn toàn có thể sản xuất chip có độ phân giải 7NM được rồi đấy.”

“Nhưng để sản xuất chip 7NM, không chỉ cần có máy khắc quang thôi; còn cần nhiều vật tư phụ trợ khác như vật liệu cắt gọt, máy etch, máy phun ion… Hơn nữa, quy trình gia công bằng máy khắc quang EUV hoàn toàn khác với máy khắc quang DUV; chúng ta cần phải từ từ tìm hiểu và học hỏi mới có thể áp dụng được.

“Chắc là không thể đâu, theo những thông tin công khai trong ngành, hiện nay trên toàn thế giới, chỉ có duy nhất tập đoàn ASML mới sở hữu công nghệ sản xuất máy quang khắc EUV mà thôi.”

“Tôi vừa kiểm tra kỹ lưỡng rồi; không chỉ máy quang khắc mà cả các thiết bị khác cũng đều không có dấu hiệu của thương hiệu hay nhà sản xuất.”

“Nói cách khác, tất cả những thiết bị này đều là hàng không rõ nguồn gốc, vậy chất lượng có thể đáng tin cậy không? Sếp chúng ta sẽ không bị lừa đâu nhỉ?”

“Có lẽ không đâu… Có thể vì những thiết bị này quá tiên tiến, người ta lo sợ sẽ gặp rắc rối nên cố tình xóa đi thông tin về thương hiệu, nhà sản xuất và ngày sản xuất.”

Trong phòng sạch, hơn một trăm kỹ sư tụ tập lại xung quanh chiếc máy quang khắc EUV, bàn tán sôi nổi. Biểu cảm của họ đa dạng: từ hào hứng, hoài nghi cho đến ngờ vực… Thực ra, tất cả các thiết bị trên dây chuyền sản xuất chip này, cũng giống như những thiết bị trong không gian chiều không, đều được sao chép từ mười năm sau; thông tin về thương hiệu, nhà sản xuất và ngày sản xuất đều không khớp với thực tế hiện tại. Để tránh rắc rối, Kiều Ruỳ Đà đã cố tình xóa đi những thông tin đó khi thực hiện việc sao chép. Đồng thời, Kiều Ruỳ Đà còn sửa đổi kỹ lưỡng bao bì sản phẩm, hướng dẫn sử dụng và sách hướng dẫn bảo trì; mọi thứ liên quan đến ngày tháng đều bị xóa bỏ. Sau những thao tác này, không ai có thể phát hiện ra nguồn gốc thật sự của những thiết bị này.

Kiều Ruỳ Đà vỗ tay để thu hút sự chú ý của mọi người, rồi nói: “Thời gian rất quý báu, mọi người đừng tiếp tục tranh luận những điều không cần thiết nữa. Bây giờ tôi sẽ phân công công việc một cách đơn giản: Viện sĩ Vương, thầy Châu và kỹ sư Lâm sẽ cùng tôi lắp đặt chiếc máy quang khắc EUV này; nhóm thứ nhất sẽ phụ trách lắp đặt giàn treo, nhóm thứ hai sẽ phụ trách lắp đặt máy phủ lớp, máy rửa và máy khắc…”

Ngay khi Kiều Ruỳ Đà đưa ra lệnh, những kỹ sư tụ tập lại đã nhanh chóng chia thành các nhóm và bắt đầu làm việc phối hợp với nhau. Sau khi cảm thấy sốc ban đầu, Viện sĩ Vương tiến đến bên cạnh Kiều Ruỳ Đà và giơ ngón tay cái lên, nói: “Bạn Kiao thật là tài ba… Ngay cả chiếc máy quang khắc EUV bị cấm vận nghiêm ngặt như thế này bạn cũng có thể chuẩn bị được. Mua chiếc máy này chắc hẳn đã tốn khá nhiều tiền phải không?”