“Đồ nhóc này, nói chuyện với thầy mà còn bất lịch sự thế, cẩn thận là cuối kỳ thầy sẽ đánh giá em trượt môn đấy.” Châu Vạn Đà là người rất tò mò; những câu hỏi anh ta đặt ra vẫn chưa có câu trả lời, khiến anh ta cảm thấy khó chịu không thể tả xiết, nên không kiềm được mà đe dọa lại. Châu Vạn Đà vốn là giáo sư chuyên ngành mạch tích hợp tại Đại học Bắc Kinh, và trong học kỳ này, anh ta phụ trách giảng dạy một môn học chuyên ngành cho lớp của Kiều Ruỳ Đà. Vì Kiều Ruỳ Đà thường xuyên vắng mặt ở lớp, nếu giáo viên chủ nhiệm dùng điều này làm lý do để đánh giá em trượt môn, thì chẳng ai có thể phản đối được cả.

Nghe thấy lời đe dọa từ Châu Vạn Đà, Kiều Ruỳ Đà lập tức nhượng bộ: “Thôi đi, thầy Châu ơi, giáo sư Châu ơi, ngài là người khoan dung như vậy, làm sao lại để ý đến chuyện nhỏ nhặt như thế này chứ? Thầy Châu muốn biết chiếc xe phía sau đang chở cái gì phải không? Em sẽ nói cho thầy biết ngay: chiếc xe đó chở một chiếc máy khắc quang EUV đấy. Vì thiết bị này quá tinh vi, bất kỳ rung động hay sự thay đổi đột ngột về nhiệt độ, độ ẩm nào cũng có thể ảnh hưởng đến độ chính xác trong quá trình sản xuất, vì vậy họ mới lắp đặt các biện pháp chống rung cho xe và lắp đặt hệ thống điều hòa trong container để đảm bảo môi trường bên trong luôn ổn định.”

“Gì cơ? Em không nghe nhầm đâu chứ… Em thực sự đã có được một chiếc máy khắc quang EUV! Làm sao có chuyện đó được? Ngay cả các tập đoàn hàng đầu thế giới về công nghệ khắc quang như ASML cũng chỉ có những mẫu thử nghiệm mà thôi, chưa hề sản xuất hàng loạt đâu… Em làm thế nào mà có được nó vậy?” Những thông tin mà Kiều Ruỳ Đà tiết lộ thật sự quá ấn tượng, khiến Châu Vạn Đà ngồi ở ghế sau phải sững sờ; vẻ bình tĩnh, điềm đạm vốn có của một giáo sư, người từng nghiên cứu khoa học, hoàn toàn biến mất.

“Hehehe, xin lỗi thầy Châu nhé… Nguồn gốc của chiếc máy khắc quang EUV này thực sự không thể tiết lộ được; nếu không, con đường cung cấp sẽ bị phanh phui, và lần sau chúng ta sẽ không thể lấy được nó nữa đâu. Thầy cũng làm việc trong lĩnh vực chip, chắc hẳn hiểu rõ rằng những thiết bị khắc quang cao cấp như thế này là bị cấm vận đối với đại lục Hoa Hạ chúng ta…” Thực ra, chiếc máy khắc quang EUV này là Kiều Ruỳ Đà tự mình sao chép lại bằng những phương pháp đặc biệt; nguồn gốc của nó vốn dĩ đã không thể công khai được, nên khi Châu Vạn Đà hỏi, anh ta chỉ có thể bịa ra một nguồn cung cấp bí ẩn để đối

Về vấn đề này thì tôi không dám hỏi nữa; bạn xem có thể dùng mối quan hệ của mình để giúp Phòng Thí nghiệm Chíp của Đại học Bắc Kinh cũng sở hữu một chiếc máy khắc quang EUV được không? Chi phí bao nhiêu cũng được thôi.” Châu Vạn Đà vừa xoa tay vừa nhìn Kiều Ruỳ Đà đang lái xe với ánh mắt trông đợi.

Là một nhà nghiên cứu về công nghệ chế tạo chip, Châu Vạn Đà hiểu rất rõ sức mạnh của máy khắc quang EUV. Những chiếc máy khắc quang DUV thông dụng hiện nay có độ chính xác trong quá trình gia công là 28nm. Ngay cả khi sử dụng các kỹ thuật như lắp ghép hay tiếp xúc ánh sáng nhiều lần, độ chính xác của máy khắc DUV cũng chỉ có thể tăng lên tối đa 7nm, và vẫn gặp phải nhiều nhược điểm như quy trình phức tạp, độ khó trong gia công cao, tỷ lệ sản phẩm hoàn chỉnh thấp… Nếu có máy khắc quang EUV thì mọi thứ sẽ hoàn toàn khác; vì máy này sử dụng ánh sáng tia cực tím để gia công wafer silicon, nên độ chính xác có thể đạt rất thấp – ngay từ 7nm – và nó còn có những ưu điểm như tốc độ gia công nhanh, tỷ lệ sản phẩm hoàn chỉnh cao… Các chip được sản xuất ra bằng máy này sẽ có hiệu suất mạnh mẽ và tỏa nhiệt ít hơn. Sau đó, bằng cách kết hợp thêm một số kỹ thuật khác, còn có thể sản xuất ra chip có độ dày 5nm, 3nm, thậm chí 2nm; đây chắc chắn là hướng phát triển tương lai của ngành công nghệ chip.

“Ồ, Giáo sư Chu ơi, ông chưa từng thấy thiết bị máy khắc quang EUV thực tế, cũng chưa từng tiến hành bất kỳ cuộc thử nghiệm nào, vậy tại sao lại đánh giá cao chiếc máy này đến thế, sẵn lòng chi tiền mua nó?” Mẫu máy khắc quang EUV này, Kiều Ruỳ Đà đã từng thử nghiệm trong không gian chiều không và mới biết được sức mạnh thực sự của nó. Còn Châu Vạn Đà thì chưa từng thử nghiệm, thậm chí còn chưa từng thấy hình dạng của chiếc máy này, mà đã quyết định mua nó một cách dứt khoát như vậy, thật là lạ lùng.

Châu Vạn Đà cười ha hả và tiết lộ một số thông tin nội bộ mà Kiều Ruỳ Đà không biết: “Hehe, đó là vì tôi thấy nó thật sự rất tuyệt vời mà thôi! Máy khắc quang EUV – một thiết bị siêu hiện đại; trên thế giới này, chỉ có công ty ASML mới có khả năng sản xuất loại máy này, và hiện tại họ mới chỉ sản xuất được vài chiếc mẫu thôi, chưa bắt đầu sản xuất hàng loạt. Nếu Phòng Thí nghiệm Chíp của Đại học Bắc Kinh có thể sở hữu một chiếc như vậy, dù không thể sử dụng nó cho việc sản xuất hàng loạt chip, chỉ dùng để thực hiện các thử nghiệm liên quan đến chip tiên tiến hoặc nghiên cứu các quy trình gia công chip dưới 7nm, thì cũng đã là một thành công lớn r

Hơn nữa, còn tồn tại nhiều nhược điểm như chi phí sản xuất quá cao, tỷ lệ sản phẩm đạt tiêu chuẩn thấp… Ngay từ năm ngoái, tôi và giáo viên của mình đã tham gia công việc lắp đặt và điều chỉnh dây chuyền sản xuất chip tại nhà máy điện tử Ruìdá của các bạn. Lúc đó, khi chúng tôi nhìn thấy bộ máy khắc quang DUV kiểu ngâm và dây chuyền sản xuất đi kèm, chúng tôi thực sự rất ghen tị. Sau khi trở về trường, giáo viên tôi đã nộp đơn xin ngân sách để nâng cấp dây chuyền sản xuất trong phòng thí nghiệm chip của chúng tôi.

Thật không may, việc nâng cấp thiết bị này đòi hỏi chi phí quá lớn, và một số thiết bị cốt lõi cũng khá khó mua được. Đơn xin đó bị giữ lại tại cơ quan cấp trên suốt một năm, và mãi gần đây mới được phê duyệt. Khi lần này tôi đến thành phố Đức Thành cùng với bạn, tôi đã nghĩ đến việc nhờ bạn giúp đỡ mua một số máy khắc quang DUV và thiết bị etch; không ngờ bạn lại có thể tìm được loại máy khắc quang EUV tiên tiến hơn nữa. Với sự có mặt của EUV, ai còn muốn dùng loại DUV lỗi thời nữa chứ, bạn nghĩ sao?”

“À, hiểu rồi. Việc giúp bạn mua một máy khắc quang EUV cũng không phải là không thể, nhưng giá của nó thì không hề rẻ đâu. Bạn phải chuẩn bị tinh thần tốt lên; tôi cũng không biết phòng thí nghiệm của các bạn có đủ tiền hay không.” Kiều Ruỳ Đà suy nghĩ một lát, cuối cùng vẫn đưa ra câu trả lời tích cực. Trong nước, có rất ít công ty thiết kế chip và viện nghiên cứu khoa học tham gia vào công tác nghiên cứu và phát triển các quy trình sản xuất chip tiên tiến. Với sự ra đời của nhà máy wafer Ruixin, nhu cầu nâng cao tỷ lệ sản phẩm đạt tiêu chuẩn và theo đuổi các quy trình sản xuất tiên tiến sẽ không bao giờ dừng lại. Khi đó, sự hợp tác giữa phòng thí nghiệm chip của Đại học Bắc Kinh và nhà máy Ruixin sẽ trở nên rất phong phú; đồng thời, Đại học Bắc Kinh cũng có thể cung cấp cho Ruixin một lượng lớn nhân tài chuyên ngành chip chất lượng cao. Hiện tại, việc bán cho họ một máy khắc quang EUV, dù có nguy cơ bị phanh phui thông tin bí mật, cũng coi như là một khoản đầu tư sớm để hỗ trợ trường đại học của mình.

“Theo thông tin quốc tế, giá của máy khắc quang DUV tiên tiến nhất cũng đã lên tới năm, sáu tỷ đồng; vậy thì giá của máy khắc quang EUV chắc chắn còn đắt hơn nữa, phải không?” Khi nói đến giá cả, Châu Vạn Đà thực sự không chắc chắn lắm; dù vậy, ngân sách được phê duyệt cũng chỉ có hạn, và anh ta không biết liệu mình có đủ khả năng mua được máy khắc quang EUV hay không.

“Câu bạn nói thật là mới mẻ đấy… Giá của máy khắc quang DUV dùng để sản xuất chip 28nm cũ